近日，由內(nèi)蒙古大學(xué)能源材料化學(xué)研究院執(zhí)行院長(zhǎng)張凡教授作為主要負(fù)責(zé)人承擔(dān)的2023年“稀土新材料”國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“集成電路制造用納米稀土拋光材料制備基礎(chǔ)研究”項(xiàng)目正式獲得了科技部的批準(zhǔn)。該項(xiàng)目由復(fù)旦大學(xué)牽頭，聯(lián)合內(nèi)蒙古大學(xué)、包頭天驕清美稀土拋光粉有限公司等國(guó)內(nèi)知名高校、企業(yè)單位共同申報(bào)。這是能源材料化學(xué)研究院自建院以來(lái)科研項(xiàng)目申報(bào)的重要里程碑。

　　集成電路是現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的核心樞紐，關(guān)系國(guó)家安全和中國(guó)式現(xiàn)代化進(jìn)程。隨著半導(dǎo)體制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小，對(duì)半導(dǎo)體表面平整度的要求也不斷提升?；瘜W(xué)機(jī)械拋光CMP是實(shí)現(xiàn)集成電路全局平坦化的唯一工藝。CMP工藝中最核心的消耗品-拋光液正處在“卡脖子”的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，集成電路制造自主創(chuàng)新體系是其破解關(guān)鍵。本項(xiàng)目基于新的材料，發(fā)展新的拋光體系，形成具有我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的專利群，產(chǎn)品對(duì)標(biāo)行業(yè)頭部公司，爭(zhēng)取接近、達(dá)到并趕超對(duì)應(yīng)產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)。打破國(guó)外公司對(duì)集成電路超精密拋光材料領(lǐng)域的技術(shù)壟斷，分享高性能拋光的市場(chǎng)份額。

　　此次項(xiàng)目申報(bào)成功打開了能源材料化學(xué)研究院與各聯(lián)合申報(bào)單位深度合作的大門，并以此次項(xiàng)目為契機(jī)，在我國(guó)北疆建設(shè)一支具有國(guó)際影響力的“面向集成電路拋光應(yīng)用的稀土納米氧化鈰”研究團(tuán)隊(duì)，開拓稀土材料應(yīng)用研究新方向，爭(zhēng)取為我國(guó)集成電路拋光領(lǐng)域向高端智能化方向發(fā)展注入新動(dòng)能。