近日，由內(nèi)蒙古大學能源材料化學研究院執(zhí)行院長張凡教授作為主要負責人承擔的2023年“稀土新材料”國家重點研發(fā)計劃“集成電路制造用納米稀土拋光材料制備基礎研究”項目正式獲得了科技部的批準。該項目由復旦大學牽頭，聯(lián)合內(nèi)蒙古大學、包頭天驕清美稀土拋光粉有限公司等國內(nèi)知名高校、企業(yè)單位共同申報。這是能源材料化學研究院自建院以來科研項目申報的重要里程碑。

　　集成電路是現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的核心樞紐，關系國家安全和中國式現(xiàn)代化進程。隨著半導體制程節(jié)點不斷縮小，對半導體表面平整度的要求也不斷提升?；瘜W機械拋光CMP是實現(xiàn)集成電路全局平坦化的唯一工藝。CMP工藝中最核心的消耗品-拋光液正處在“卡脖子”的關鍵節(jié)點，集成電路制造自主創(chuàng)新體系是其破解關鍵。本項目基于新的材料，發(fā)展新的拋光體系，形成具有我國自主知識產(chǎn)權的專利群，產(chǎn)品對標行業(yè)頭部公司，爭取接近、達到并趕超對應產(chǎn)品的技術指標。打破國外公司對集成電路超精密拋光材料領域的技術壟斷，分享高性能拋光的市場份額。

　　此次項目申報成功打開了能源材料化學研究院與各聯(lián)合申報單位深度合作的大門，并以此次項目為契機，在我國北疆建設一支具有國際影響力的“面向集成電路拋光應用的稀土納米氧化鈰”研究團隊，開拓稀土材料應用研究新方向，爭取為我國集成電路拋光領域向高端智能化方向發(fā)展注入新動能。